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真空腔体常用的清洗方法

1、放电清洗

放电清洗一般用于高真空、超高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.

2、氮气清洗

氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.

腔体真空技术

疑问一：磁体内部没有大量液氦，肯定是用了巨大的制冷系统维持低温，耗电非常大，长时间算下来比液氦还要贵，而且巨型制冷机成本和后期维护费用更高。

回答：Blue Seal磁体使用的也是住友公司生产的冷头，其功率是1.5W，而氦气压缩机使用的也是与传统Ingenia 1.5T相同的F-40压缩机，因此基本不存在耗电量大的问题。用合适的气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实际使用中也是比较常用的检漏办法。进一步来说，能提出制冷机这个概念那基本上就说明他不懂MR硬件，老王讲过很多次超导MR的制冷系统，冷头，氦气压缩机，初级水冷共同构成了MR的制冷系统，初级水冷机的功率大体上取决于梯度放大器，射频放大器和氦压机的制冷需求，而Blue Seal既然氦压机也F-40，那么初级水冷机的功率也就和普通的Ingenia 1.5T设备一致，不存在成本高维护费用大的问题。

氦质谱检漏仪是如何工作的？

1. 喷吹法检漏的原理喷吹法检漏是利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，然后在被检产品外表面喷吹氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，检漏仪会报警并显示当前漏率值。用现代抽气方法获得的很低压力,每立方厘米的空间里仍然会有数百个分子存在。2.喷吹法检漏的优缺点优点：①检测灵敏度高

②***准确

③对大容器或复杂结构产品的检漏可靠性高

缺点：①漏率检测只能在一个大气压差内

②不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态

检测漏率问题

用户头疼的是检测漏率问题。漏分内漏和外漏；外漏比较好检测，内漏则难办些。这一问题的实质是在相同热能的效果下，资料发作熔化的概率越大，则击穿电压越低。较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，用蜡烛或打火机在点附近逐步查寻，会发现火苗向漏点偏移，则可找到漏点。我们用自制的检漏仪可以在旋片泵工作范围内进行检漏，现在已经生产ZHC．1型仪表。该检漏仪表用ZJ．2电离规管，规管接在旋片泵吸气口来检测。若是扩散泵机组的话，可以检测到l0P的漏率。