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真空箱式氦检漏设备【验收标准】

由于真空箱式氦检漏系统是比较好的设备，所以需要用户进行验收，以免后期使用过程中产生问题，难以解决。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，之后进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收，以免延期因保管出现的产品质量问题。大漏判定功能，微漏定量检漏功能，工件泄漏总的判定功能，并能满足连续生产的需求，具有较高的自动化程度，操作简便、安全、可靠。需要注意系统调试需要用测试工件。

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氦检漏设备

氦罩法

在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入氦气或氦气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。

密封器件的氦质谱细检漏技术细分为压氦法(即背压法) 和预充氦法两种。D A Howl 等首先给出了压氦法测量漏率Re 与等效标准漏率L 的关系，并指出该关系对应的气流状态为分子流，文献指出将压氦法测量漏率与等效标准漏率关系式中个括号删掉，就得到预充氦法的相应关系式。无论是压氦法还是预充氦法，在公式推导中都假定候检期间环境大气中不存在氦分压。然而，实际上地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染，使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压。设备到货后，供方在7天内尽快安装完成，并由用户进行水、电、气等的配套安装之后，供方再对设备进行调试。因此，推导和分析环境大气中氦分压对压氦法和预充氦法的影响是十分必要的。